Erlangende ýerleşýän Fraunhofer IISB (Integrasiýalaşdyrylan ulgamlar we enjamlar tehnologiýasy instituty) we Wettenbergde ýerleşýän mikrotolkunly we radio ýygylykly plazma ulgamyny öndüriji PVA TePla AG kompaniýalary alýumin nitridi (AlN) kristallaryny öndürmek üçin bilelikdäki laboratoriýada öz tejribelerini birleşdirýärler.
Ýewropada ilkinji hyzmatdaşlyk hökmünde, bu hyzmatdaşlyk ylmy-barlag we işläp taýýarlamak maksatlary üçin diametri 2 dýuým bolan monokristal AlN substratlarynyň senagat taýdan goldanylýan kiçi tapgyrly önümçiligine mümkinçilik berýär. Bu bolsa Ýewropada AlN substratlarynyň elýeterliligini ep-esli ýokarlandyrýar, bu bolsa öz gezeginde AlN esasly enjamlaryň we ulgamlaryň ösüşini we olaryň senagat ulanylyşyna geçmegini çaltlaşdyrýar.
Alýumin nitridi ýokary öndürijilikli elektronikanyň indiki nesli üçin iň geljegi uly materiallaryň biridir. Ultra giň zolakly (UWBG) ýarymgeçiriji hökmünde AlN fotonika, güýç elektronikasy, ýokary ýygylykly elektronika we ekstremal şertlerde işleýän elektronikada täze mümkinçilikleri açýar. Häzirki güne çenli ýokary hilli, giň meýdanly we tygşytly AlN substratlarynyň ýetmezçiligi AlN esasyndaky elektron ulgamlarynyň ösüşini yza tesdirýär.
“Joint Lab bilen biz Ýewropadan AlN substratlarynyň ygtybarly üpjünçiligini üpjün etmek üçin esas döredýäris, şeýlelik bilen ýokary öndürijilikli AlN enjamlarynyň indiki nesli üçin täze mümkinçilikleri açýarys” diýip, Fraunhofer IISB-de nitrid materiallary boýunça toparyň ýolbaşçysy we AlN materiallaryny işläp düzmek üçin jogapkär doktor Swen Besendörfer aýdýar. “PVA TePla bilen bilelikde biz senagat kristallarynyň ösdürilmeginde tejribämizi goşýarys, şeýlelik bilen anyk ulanylyşlara geçmek üçin zerur şertleri döredýäris”.
Subut edilen enjam tehnologiýasy hususy proses nou-hausy bilen gabat gelýär
Bilelikdäki laboratoriýada Fraunhofer IISB 2 dýuýmlyk AlN göwrümli kristallaryny öndürmek üçin özüne degişli PVT (fiziki bug daşamak) proses tehnologiýasyny ulanýar. Bu prosesde AlN poroşogy 2000°C-den ýokary temperaturada tigelde buglanýar we tohum kristalyna goýulýar. PVA TePla bu maksat üçin PVT ulgamlaryny hödürleýär, olar eýýäm dünýäde 8 dýuým diametrli kremniý karbidi (SiC) kristallary üçin ulanylýar we häzir 2 dýuýmlyk AlN kristallarynyň ösmegi üçin ýörite uýgunlaşdyryldy.
Fraunhofer IISB-niň goşan proses tejribesi sebäpli, PVA TePla topary öz zawodlarynda deňeşdirip boljak hilli AlN kristallaryny çalt öndürip bildi. Joint Lab 2 dýuýmlyk AlN kristallarynyň durnukly kiçi tapgyrly önümçiligine ünsi jemleýär. Häzirki wagtda önümçilik prosesiň durnuklylygyny, gaýtalanmagyny, hasyllylygyny we çykdajy düzümlerini ulgamlaýyn optimizirlemek üçin tapgyrlaýyn ýokarlandyrylýar.
“Alýumin nitridi bilen biz SiC-den soň tehnologiýanyň indiki neslini işjeň kemala getirýäris” diýip, PVA TePla-nyň ylmy-barlag we işläp düzmek boýunça wise-prezidenti doktor Jan Pfaýfer aýdýar. “Joint Lab arkaly biz öz enjam tejribämizi Fraunhofer IISB-niň proses nou-hausy bilen gönüden-göni birleşdirip bileris, bu bolsa bize global müşderilerimize irki tapgyrda bazara gönükdirilen çözgütleri hödürlemäge mümkinçilik berýär” diýip, ol sözüniň üstüne goşýar. “Biziň umumy maksadymyz AlN pudagynda bazaryň ösüşini amatly substratlar arkaly höweslendirmek we bu ugurda tehnologiýa hyzmatdaşlary hökmünde dogry enjamlar we degişli proses tejribesi bilen girmäge çalyşýan kompaniýalara goldaw bermekdir”.
Senagat ölçegleri arkaly Ýewropanyň tehnologik özygtyýarlylygyny güýçlendirmek
Joint Lab-da öndürilen AlN kristallary Fraunhofer IISB-de epi-taýýar AlN substratlaryna gaýtadan işlenip, Erlangende ýerleşýän ylmy-barlag we önüm işläp düzmek firmasy LZE GmbH arkaly senagat ösüş we ölçeklendirme proseslerine geçirilýär. “Ýewropanyň ýarymgeçirijiler özbaşdaklygy üçin täze esasy materiallaryň diňe bir işlenip düzülmän, eýsem senagat ulanylyşlaryna we ölçeklendirilip bilinýän gymmatlyk döretmäge çalt geçirilmegi örän möhümdir” diýip, LZE-niň dolandyryjy direktory doktor Kristian Forster aýdýar. “Öňdebaryjy tehnologiýalar bazary bilen LZE GmbH kompaniýalara we ylmy-barlag edaralaryna global derejede özboluşly we açyk giriş mümkinçiligini berýär. Şeýlelik bilen, biz ýokary göwrümli senagat bazarlary üçin geljegi uly ulanylyşlaryň has çalt bazara çykarylmagyna kömek edýäris”.
Ýerleşdirilen wagty: 2026-njy ýylyň 20-nji iýuly